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測試服務(wù)

測試服務(wù)

Testing service

表面形貌測試
探針式表面輪廓儀：
P-7 是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。P-7建立在市場(chǎng)P-17臺式探針輪廓分析系統 的成功基礎之上。 它保持了P-17技術(shù)的卓越測量性能，并作為臺式探針 輪廓儀平臺提供了極高的性?xún)r(jià)比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲 度和應力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。
主要功能
臺階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無(wú)需圖像拼接 ? 視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差
生產(chǎn)能力：通過(guò)測序，模式識別和SECS / GEM實(shí)現全自動(dòng)化


快速退火工藝（一）
快速退火工藝（一）

2023-11-17

快速熱退火是用各種熱輻照源，直接照射在樣品表面上，迅速將樣品加熱至700~1200℃左右在幾秒~幾十秒的時(shí)間內完成退火。它與常規熱退火相比，有下列優(yōu)點(diǎn)...

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離子鍍膜
離子鍍膜

2023-10-16

離子鍍是一種在真空環(huán)境中，利用高壓氣體放電將鍍料蒸發(fā)后離子化，沉積在產(chǎn)品表面形成一層鍍膜的工藝。  離子鍍工藝出現于上世紀70年代，是一種...

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常規ICP刻蝕的操作流程
常規ICP刻蝕的操作流程

2023-10-13

（一）裝片：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent ，120s 后打開(kāi) Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據片子尺寸大小，在托盤(pán)上涂抹...

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分子束外延的技術(shù)難點(diǎn)
分子束外延的技術(shù)難點(diǎn)

2023-10-09

分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術(shù)制備半導體薄膜材料發(fā)展而來(lái)的。隨著(zhù)超高真空技術(shù)的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術(shù)的發(fā)展開(kāi)拓了一系列嶄新的超...

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