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  • 激光制版
    激光制版
    掩膜版設計
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    掩膜版制作
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    電子束光刻
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  • 鍍膜
    鍍膜
    低壓化學(xué)氣相沉積
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    感應耦合化學(xué)氣相沉積
    原子層沉積
    光學(xué)鍍膜
    濺射沉積
    電子束蒸發(fā)
    熱蒸發(fā)
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  • 刻蝕
    刻蝕
    堿性腐蝕
    酸性腐蝕
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    電感耦合等離子刻蝕
    深硅刻蝕DRIE
    深氧化硅刻蝕
    離子束刻蝕
    反應離子刻蝕
    灰化
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  • 外延生長(cháng)·摻雜
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    金屬有機化學(xué)氣相沉積
    化學(xué)氣相沉積
    離子注入
    高溫氧化
    高溫擴散/退火
    快速退火
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    研磨/減薄
    拋光
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