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測試服務(wù)

測試服務(wù)

Testing service

EMMI（微光顯微鏡）
EMMI（微光顯微鏡）

對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當有用，且效率極高的分析工具，主要偵測IC內部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會(huì )放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時(shí)N的電子很容易擴散到P， 而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。


偵測到亮點(diǎn)之情況：

1.漏電結；2.解除毛刺；3.熱電子效應；4.閂鎖效應； 5.氧化層漏電；6.多晶硅須；7.襯底損失；8.物理?yè)p傷等。


測試內容：

1.P-N接面漏電，P-N接面崩潰；

2.飽和區晶體管的熱電子；

3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā)；

4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD。

快速退火工藝（一）
快速退火工藝（一）

2023-11-17

快速熱退火是用各種熱輻照源，直接照射在樣品表面上，迅速將樣品加熱至700~1200℃左右在幾秒~幾十秒的時(shí)間內完成退火。它與常規熱退火相比，有下列優(yōu)點(diǎn)...

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離子鍍膜
離子鍍膜

2023-10-16

離子鍍是一種在真空環(huán)境中，利用高壓氣體放電將鍍料蒸發(fā)后離子化，沉積在產(chǎn)品表面形成一層鍍膜的工藝。  離子鍍工藝出現于上世紀70年代，是一種...

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常規ICP刻蝕的操作流程
常規ICP刻蝕的操作流程

2023-10-13

（一）裝片：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent ，120s 后打開(kāi) Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據片子尺寸大小，在托盤(pán)上涂抹...

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分子束外延的技術(shù)難點(diǎn)
分子束外延的技術(shù)難點(diǎn)

2023-10-09

分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術(shù)制備半導體薄膜材料發(fā)展而來(lái)的。隨著(zhù)超高真空技術(shù)的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術(shù)的發(fā)展開(kāi)拓了一系列嶄新的超...

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