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應用：
透射電子顯微鏡在材料科學(xué) 、生物學(xué)上應用較多。由于電子易散射或被物體吸收，故穿透力低，樣品的密度、厚度等都會(huì )影響到最后的成像質(zhì)量，必須制備更薄的超薄切片，通常為50～100nm。所以用透射電子顯微鏡觀(guān)察時(shí)的樣品需要處理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷凍超薄切片法、冷凍蝕刻法、冷凍斷裂法等。對于液體樣品，通常是掛預處理過(guò)的銅網(wǎng)上進(jìn)行觀(guān)察。
樣品要求：
粉末樣品基本要求：
（1）單顆粉末尺寸最好小于1μm；
（2）無(wú)磁性；
（3）以無(wú)機成分為主，否則會(huì )造成電鏡嚴重的污染，高壓跳掉，甚至擊壞高壓槍?zhuān)?br /> 塊狀樣品基本要求：
（1）需要電解減薄或離子減薄，獲得幾十納米的薄區才能觀(guān)察；
（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等機械方法制成粉末來(lái)觀(guān)察；
（3）無(wú)磁性；
用途
X射線(xiàn)能譜在透射掃描電鏡中與掃描功能配合可得元素分布圖。應用電子通道增強效應還可以測定雜質(zhì)元素或合金元素在有序化合物中占據亞點(diǎn)陣位置的百分數。
優(yōu)點(diǎn)
（1）能譜儀探測X射線(xiàn)的效率高；
（2）在同一時(shí)間對分析點(diǎn)內所有元素X射線(xiàn)光子的能量進(jìn)行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個(gè)測量每種元素特征波長(cháng)；
（3）結構簡(jiǎn)單，穩定性和重現性都很好；
（4）不必聚焦，對樣品表面無(wú)特殊要求，適于粗糙表面分析。