微特云辦公系統
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微流道芯片
Product pilot test
1.硼硅玻璃：BF33玻璃，是一種高硼硅玻璃具有出色的耐熱性、極高的透明度、高化學(xué)耐受性以及優(yōu)異的機械強度。
2.石英玻璃：具有低熱膨脹系數、耐化學(xué)性強、耐高溫（最高可達 900oC) 、具有優(yōu)異的光學(xué)性能，如均勻性和高紫外線(xiàn)透射率，適用于微流體流動(dòng)池、微反應器和紫外分光光度法檢測的微流控芯片。
石英玻璃 也比其他類(lèi)型的玻璃更能抵抗熱沖擊。
1.深度1um內用IBE刻蝕，刻蝕精度10%以?xún)?，深寬?:1，加工效率高。
2.深度1-20um，可用NLD刻蝕，刻蝕具有高刻蝕速率、高均勻性、高等離子體密度及低壓放電。
3.深度20um以上用濕法腐蝕，加工效率高，深寬比2:1以上。
4.線(xiàn)寬200um以上，精度要求低，可采用激光刻蝕。
| 加工案例 | |||
| T型液滴 | 流動(dòng)聚焦型 | 激光刻蝕 | |
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2023-10-13
（一）裝片：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent ，120s 后打開(kāi) Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據片子尺寸大小，在托盤(pán)上涂抹...
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2023-10-09
分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術(shù)制備半導體薄膜材料發(fā)展而來(lái)的。隨著(zhù)超高真空技術(shù)的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術(shù)的發(fā)展開(kāi)拓了一系列嶄新的超...
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