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2023-11-17
鹵素燈管退火（Halogen Lamp Annealing）是一種用燈管作為熱源的退火方式，其特點(diǎn)如下： 高溫：鹵素燈管退火的溫度可以達到1300攝氏度以上，可以快...
2023-11-17
快速熱退火是用各種熱輻照源，直接照射在樣品表面上，迅速將樣品加熱至700~1200℃左右在幾秒~幾十秒的時(shí)間內完成退火。它與常規熱退火相比，有下列優(yōu)點(diǎn)...
2023-10-16
離子鍍是一種在真空環(huán)境中，利用高壓氣體放電將鍍料蒸發(fā)后離子化，沉積在產(chǎn)品表面形成一層鍍膜的工藝。 離子鍍工藝出現于上世紀70年代，是一種...
2023-10-13
（一）裝片：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent ，120s 后打開(kāi) Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據片子尺寸大小，在托盤(pán)上涂抹...
2023-10-09
分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術(shù)制備半導體薄膜材料發(fā)展而來(lái)的。隨著(zhù)超高真空技術(shù)的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術(shù)的發(fā)展開(kāi)拓了一系列嶄新的超...
2023-10-07
當離子轟擊進(jìn)入硅襯底后，與晶格原子碰撞將逐漸失去能量，最后停留在硅襯底內。有兩種阻滯機制，一種是注入的離子與晶格原子的原子核發(fā)生碰撞，經(jīng)過(guò)這...
